双工件台是光刻机的核心技术的一种,下面我们就简单介绍一下双工件台在光刻机中的作用,以及双工件台的工作原理,下面我们一同来了解一下吧!
双工件台是在光刻机里面有2个运载晶圆的工件台。2个工件台彼此单独运作,但一起运转,1个工件台里的晶圆做曝光时,另外1个工件台对晶圆做先前准备工作。当曝光成功以后,2个工件台互换位置和职责,这般循环反复做到光刻机的高生产能力。
简单说明讲解一下,双工件台就比作人的两只手,一只手从柜子里拿盘子,另一只收准备拿盘子,一只手放下盘子,另一只手拿起盘子,重复此操作,但是双工件台不仅仅是这么简单,他要求稳定性,精准性是极高的。只是这么比方,像咱们非专业人士更好理解。